G001 UP

Ducoya® G001 UP ist ein hochreines Material, das für den Einsatz in der modernen Halbleiterfertigung bestimmt ist, wo die Strukturgrößen im niedrigen Nanometerbereich liegen.

G001 UP ist ein außergewöhnliches Material, das Plasmabeständigkeit, minimale Ausgasung unter harten Vakuumbedingungen, ausgezeichnete elastische Erholung und Zähigkeit kombiniert. Diese Eigenschaften bleiben auch bei hohen Temperaturen von bis zu 400°C im Vakuum erhalten. Diese Kombination von Eigenschaften eignet sich für die gemischten Materialien, aus denen Plasmakammer Ausrüstungsteile für Ätz- und Abscheidungsaktivitäten bestehen können, und trägt dazu bei, sehr fein kontrollierte EUV-Abbildungsprozesse zu ermöglichen.

Das elastische Rückstellvermögen, die gute Konformität und die geringe Permeabilität von Ducoya G001 UP bedeuten, dass es als Teil einer Dichtungslösung verwendet werden kann und andere Polyimide übertrifft.

PFAS-Stoffe werden Ducoya G001 UP nicht absichtlich zugesetzt oder als Prozesshilfsmittel bei seiner Herstellung verwendet.

Ducoya G001 UP hat eine „weiche, aber starke“ Charakteristik, die Wafer konform, aber fest hält und das Risiko von Beschädigungen minimiert. Ducoya kann zu sehr feinen Oberflächen poliert werden und lässt sich leicht mit extrem engen Toleranzen bearbeiten. Außerdem besitzt es hervorragende elektrische Isolationseigenschaften. Diese Eigenschaften in Verbindung mit dem hohen Reinheitsgrad und anderen oben erwähnten vorteilhaften Merkmalen können für das Halten, die Handhabung und das Abtasten von Wafern während des Herstellungsprozesses nützlich sein.

Wenn Sie keine ultrahohe Reinheit benötigen, aber dennoch hohe Präzision, Dimensionsstabilität, Verschleißfestigkeit, Hochtemperaturfähigkeit und elektrische Eigenschaften für Anwendungen wie Halbleitertestsockel wünschen, sollten Sie Ducoya G001 mit Standardreinheit in Betracht ziehen.

Für Lebensmittel-, Medizin- oder andere Anwendungen, bei denen höchste Reinheit erforderlich ist, setzen Sie sich gerne mit Duvelco in Verbindung.